EDS及XRD的性能區別

1、EDS是針對一些元素的含量進行測試，XRD是測試晶體結構的。
2、EDS
(Energy
Dispersive
Spectrometer）能譜分析，能譜儀是與掃描電子顯微鏡或透射電鏡相連的設備。在微米或納米尺度上對掃描電鏡或透射電鏡內通過電子碰撞所產生的X射線的能量進行測量來確定物質化學成分。分析范圍：4-100號元素定性定量分析。
特點：
（1）能快速、同時對各種試樣的微區內Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，幾分鐘即可完成。
（2）對試樣與探測器的幾何位置要求低：對W.D的要求不是很嚴格；可以在低倍率下獲得X射線掃描、面分布結果。
（3）能譜所需探針電流小：對電子束照射后易損傷的試樣，例如生物試樣、快離子導體試樣、玻璃等損傷小。
（4）檢測限一般為0.1%－0.5%，中等原子序數的無重疊峰主元素的定量相誤差約為2%。
3、XRD，X射線衍射是測定晶體結構的。X射線衍射，通過對材料進行X射線衍射，分析其衍射圖譜，分析材料的成分等。