EDX,全稱Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy,能量色散X射線光譜儀,EDX是借助于分析試樣發出的元素特征X射線波長和強度實現的;
根據不同元素特征X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強度可以測定試樣中元素的含量。
通常EDX結合電子顯微鏡使用,可以對樣品進行微區成分分析。