| 儀器名稱： | 高級勻膠系統 |
| 儀器編號： | 04001156 |
| 產地： | 奧地利 |
| 生產廠家： | EVG |
| 型號： | EVG101C |
| 出廠日期： | 200303 |
| 購置日期： | 200403 |
| 所屬單位： | 物理系>納米中心>納米中心加工平臺 |
| 放置地點： | 納米樓超凈間 |
| 固定電話： | 62796022 |
| 固定手機： | 18701647330 |
| 固定email： | andong3014@163.com |
| 聯系人： | 安東（010-62796021,18701647330,andong3014@163.com） 羅春香（010-62772881,17310180090,luocx11@tsinghua.edu.cn） 安東（010-62796022,18701647330,andong3014@163.com） |
| 分類標簽： | 微納加工 |
| 技術指標： | EVG101C勻膠機 功能設置：旋轉卡頭和移動噴頭 旋轉卡盤：真空吸盤 轉速O-10000min 適用襯底尺寸：2" 4" PC軟件控制涂膠過程 控制參數：卡盤轉速[rpm] 涂膠時間[s] 用于樣品光刻膠涂敷 具備涂膠、去膠、清洗邊緣功能 |
| 知名用戶： | 校內用戶：清華大學化學系、物理系、材料系、環境系、核研院、航院、精儀系、機械系、微電子所、電子系、醫學院、工物系、熱能系、力學系、建筑系、水利系、土木系、電機系、基礎工業訓練中心等二十余個院系。校外用戶：北京大學、中科院國家納米中心、半導體所、北航，北理工，中科院物理所、北科大、北化工、北林大、地質大學、成都電子科技大學、上海交通大學、同濟大學等多個課題組 |
| 技術團隊： | 屬于納米中心測試加工平臺，有完善的組織管理體系，有經驗豐富的儀器維護管理工程師和專業實驗員。還有納米中心廠務部門支持儀器的外部水、電、氣的供應。 |
| 功能特色： | 自動勻膠，均勻性好。 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 涂膠（大于兩英寸樣品） | 元/片 | 材料費 | 100.0 | |
| 涂膠（小于兩英寸樣品） | 元/片 | 材料費 | 50.0 |
