ICP-AES分析技術的發展
1942年Babat采用大功率電子振蕩器實現了石英管中在不同壓強和非流動氣流下的高頻感應放電，為這種放電的實用化奠定了基礎。
1961年Reed設計發明了電感耦合等離子炬（ICP）。之后，Greenfind、Wenat、Fassel首先將ICP裝置用于AES，開創了ICP在原子光譜分析上的應用歷史。
20世紀70年代，ICP-AES進入實質應用階段。
1975年美國的ARL公司生產出了第一臺商品ICP-AES多色儀，此后各種類型的商品儀器相繼出現。ICP-AES獲得廣泛的應用。
現代的ICP光譜儀，已發展到全譜直讀型，一般都有微機控制系統，自動化程度較高，分析程序由鍵盤輸入，儀器一般也都配有自動故障報警、安全保護等功能。