1.ICP-MS基本原理
樣品進行ICP-MS分析時一般經過以下四步：
（1）分析樣品通常以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中，然后進入由射頻能量激發的處于大氣壓下的氬等離子體中心區；
（2）等離子的高溫使樣品去溶劑化、汽化解離和電離；
（3）部分等離子體經過不同的壓力區進入真空系統，在真空系統內，正離子被拉出并按其質荷比分離；
（4）檢測器將離子轉化為電子脈沖，然后由積分測量線路計數；
電子脈沖的大小與樣品中分析離子的濃度有關，通過與已知的標準或參比物質比較，實現未知樣品的痕量元素定量分析。
2.ICP-MS基本構造
一個標準的ICP-MS儀器分為三個基本部分：
（1）ICP（樣品引入系統，離子源）
（2）接口（采樣錐，截取錐）
（3）質譜儀（離子聚焦系統，四級桿過濾器，離子檢測器）