可能的原因：排除因進樣系統異常導致的儀器后，如果還是靈敏度低，就可能是光路的問題了。
解決辦法及建議：首先，ICP的光路系統都是需要氮氣或氬氣吹掃保護下工作的。如是氬氣含水量高或是環境空氣濕度大，可能會存在以下幾點隱患。
（1）光學鏡片表面時間長了會有水漬沉積，影響光通量。
（2）由于很多光學鏡片都是固定在金屬支架上的，如果這些金屬支架生繡或是支架的馬達生銹了，則會影響鏡片定位的準確性。從而影響光行徑的方向，導致靈敏度降低，所以高質量的氬氣和控制好室內濕濕度(濕度22~25度，濕度=40~65%)對光路系統的保護也是有好處的。
（3）用戶做的樣品酸度不能太大，消解完的樣品要盡量趕酸，因為少量酸氣會不可必免的沿著光路進入光室，這些酸會腐蝕鏡片和金屬支架。同樣會影響鏡片定位的準確性。