JEM-1200EX透射式電子顯微鏡燈絲的養護及清洗
電子顯微鏡工作時應處于高真空狀態，即使不工作也應使其保持真空狀態，以保護鏡筒內透鏡和重要部件不受外界環境的影響，延長其使用壽命。在工作狀態下，如果鏡筒內存在空氣，氣體分子將與高速運動的電子相互碰撞，使氣體電離放電，引起電子束閃爍和不穩定。熾熱的燈絲若與氣體相遇，則會縮短燈絲使用壽命或損壞燈絲。此外，如鏡筒中有氣體存在也會污染樣品。
電子顯微鏡在日常關機后，因氣體不斷進入將使鏡筒處于低真空狀態，所以工作前大約30min抽真空操作，將進入鏡筒的氣體抽走。當電子顯微鏡已經處于工作狀態時，仍需要油擴散泵和機械旋轉泵連續不斷地運動，隨時將緩慢進入鏡筒的氣體抽走，以保持鏡筒的高真空度，營造電子顯微鏡工作的必要條件。真空度一般要求達到1／1.33x105以上，才能觀察樣品。
燈絲是電子顯微鏡的重要部件。它是使電鏡保持良好真空狀態的關鍵。只有保養好燈絲，才能使電鏡盡早抽好真空，達到觀察樣品時良好的使用狀態。
燈絲的清洗及處理 法如下：
1）取下韋氏帽和燈絲架后，立即降下電子槍并給電子槍抽真空，這樣可以避免灰塵的落入，減少電子槍室吸附的空氣，縮短抽真空的時間，使加高壓變得容易，縮短了加高壓和燒烤燈絲的時間，提高了工作效率。
2）燈絲上的毛刺用脫脂棉沾酒精擦出，用洗球吹掉燈絲上的棉毛（用解剖鏡仔細檢查）。真空抽好后加上高壓，燈絲在高壓狀態下燒烤0.5～1.0h。
3）按下槍掃，調整Y軸平移，尋找電子束，如果沒有找到電子束，可調整傾斜或者計算機復位鍵，核對事先記下的參數。用檢測片檢測，調整燈絲的對中情況。調節高度，反轉1周零1格，如果反轉太多，則出現衍射花紋樣的束斑。
注意電子束流不易過大，一般為20～30μA；偏壓不易過高，一般為3.3A或者4.3A左右。
如有掉高壓的現象，則可能是燈絲加熱電流加的過快。燈絲的材料主要是由鎢絲制成的，鎢絲里吸附的氣體被大量釋放，使真空度下降，致使高壓保護而掉高壓。
經過以上方法對燈絲進行清洗和保養有重要意義，延長了燈絲的使用壽命，提高了工作效率。
北京華納微科技有限公司工程師多年的售后服務經驗，可提供FEI電鏡維修、賽默飛電鏡維修，移機搬遷過大量的電子顯微鏡設備，為SEM移機搬遷、TME移機搬遷、FIB移機搬遷提供良好的技術保障，也可以提供二手賽默飛各種類型電子顯微鏡已經易耗品配件等。