| 儀器名稱： | 桌上型點膠機 |
| 儀器編號： | 11029360 |
| 產地： | 日本 |
| 生產廠家： | Janome |
| 型號： | JR2303N |
| 出廠日期： | 201109 |
| 購置日期： | 201112 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>封裝工藝 |
| 放置地點： | 微電子所新所一樓微納平臺 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 鄭瑤（010-62798268,13811838182,zhengyao@mail.tsinghua.edu.cn） 胡楊（010-62798268,13810173486,hyang@tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） 王謙（010-62794957,13810134838,wang-qian@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 微納加工 集成電路 封裝 |
| 技術指標： | 分辨率：5μm，重復精度：10μm，熱臺可加熱到350度；工作范圍XYZ：300mm×320mm×100mm，實際加熱臺尺寸為180mm×180mm |
| 知名用戶： | 清華大學微電子所 |
| 技術團隊： | 封裝專區擁有相關先進儀器設備20余臺套，多為進口設備，按功能主要分為：加工、測量/觀察、環境可靠性測試及失效分析。部分設備面對校內外開放，可承擔學校、科研單位和國內外企業的加工、測試及分析等技術服務與咨詢。 |
| 功能特色： | 利用氣壓控制點膠量、機械臂和平臺配合形成點膠圖形；主要用于：頂部灌封（Encapsulation）、底部填充（underfill）、圍堰填充（Dam&fill） |
樣品要求：
與設備工程師確認。
預約說明：
封裝工藝所有的設備均需要提前預約，預約前請聯系設備管理員，討論樣品信息和預約時間，再在網上進行預約。
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 自主上機機時費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 240.0 | |
| 送樣測試費 | 元/小時 | 測試費 | 240.0 | |
| 點膠材料費 | 元/批 | 材料費 | 1000.0 | 按選擇膠種類計費，一次性使用（如underfill一管2000元） |