原因:
大的真空泄漏;
真空泵異常包括機械泵和分子泵;
泄漏閥異常
如果發生這種情況,請停止Lab solutions軟件,并關閉PC和MS電源,檢查和修理真空泄漏后再打開PC和MS電源,啟動Lab solutions軟件。