MEMS振蕩器的介紹

MEMS振蕩器是指通過微機電系統制作出的一種可編程的硅振蕩器。

中文名 MEMS振蕩器 外文名 MEMS oscillator

介紹

MEMS振蕩器是指通過微機電系統制作出的一種可編程的硅振蕩器，屬于我們通常所說的有源晶振。它是對傳統石英晶振產品的一個升級更新換代，防震效果是前者的25倍，具有不受振動影響、不易碎的特點。MEMS振蕩器的溫度穩定性也比傳統晶振更好，不受環境溫度高低變化的影響。

原理

傳統的石英振蕩器是由壓電石英加上簡單的起振芯片和金屬封裝組成的，其生產工藝包括：石英切割鍍銀、購買基座、起振芯片，以及將石英及芯片以特殊黏膠結合后至于基座上，然后充填氮氣，用金屬封裝進行密封。而不同頻率、不同工作電壓振蕩器的產生，則是由石英的不同形狀、鍍銀厚度及所佩的起振芯片所決定。所以，從生產工藝角度，石英產業是一個人工密集型的半自動化傳統產業，其產品也受到傳統原材料和工藝的限制：

1. 復雜的生產程序導致供貨期的拖長及缺貨應急困難的現象；

2. 不同振蕩器規格需不同原料不同工藝，從而使成品缺乏靈活性，無法為滿足不同應用而進行實時配置；

3. 壓電石英對溫度敏感度高的特性，造成石英振蕩器的溫飄煩惱；

4. 石英易碎怕摔老化的弱點需靠生產工藝和質量管理來解決，缺乏質量和長期可靠性的一致性。

為解決石英的內在弱點，因此在時鐘組件的選料上開始轉向采用了全硅的產品結構，有一個全硅MEMS諧振器和一個可編程Analog CMOS驅動芯片堆棧，并以標準QFN IC封裝方式完成。