SEM中的真空度
首先，我們來談談掃描電鏡（SEM）中的真空度。真空度（或壓力值）可由操作者控制。對于臺式掃描電鏡，真空度在1 - 10帕斯卡之間。用于比較的是：大氣壓是100000帕斯卡。
當壓力降到大氣壓值以下時，所有液體都會發生相變。因此所有掃描電鏡（SEM）的內部必須采用不受高真空度影響的特殊材料。
有些樣品會受到影響，并且它們的行為也會有所不同：zui敏感的是含水樣品。
有內部孔隙的樣品，或者是由含水材料制成的樣品，都可能會受到影響，因為它們會在成像過程中釋放出氣體。
任何從樣品中釋放出的氣體都是成像工具的風險，因為它可能會污染鏡筒或探測器，損害儀器的功能，或影響圖像質量。出于這個原因，飛納臺式掃描電鏡（Phenom Desktop SEM）通常配備一個保護程序，當檢測到突然或意外增加的壓力水平時，會彈出樣品。
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