Si(Li)x射線能譜儀于一九六八午首次應川在電子探針,成為一種x射線微分析的工具。此后,在能量分辨率、計數率和數據分析等方面作了許多改進,目前已經成為電子探針和掃描電鏡的一種受歡迎的附件,甚至在透射電子顯微鏡上也得到應用。
