| 儀器名稱： | 薄膜應力計 |
| 儀器編號： | 12030409 |
| 產地： | 日本 |
| 生產廠家： | TOHO |
| 型號： | FLX-2320S |
| 出廠日期： | 201212 |
| 購置日期： | 201212 |
樣品要求：
樣品大小可為4、5、6、8英寸。
預約說明：
實驗室的設備采用網上預約的方式、以先約先用為基本原則
取消預約需提前2個小時通過網上取消預約
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>測試與分析 |
| 放置地點： | 微電子所新所一層微納平臺 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 曹秉軍（010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 半導體 應力 材料分析 MEMS |
| 技術指標： | 應力范圍：1 Mpa~ 4×103 Mpa。 圓片尺寸：直徑100mm（4 in. ）、125mm（5 in. ）、150mm（6 in. ）、200mm（8 in. ）。 溫度范圍：室溫~ 500℃（該設備目前只能在常溫下測試，因為沒有連接用于降溫的冷卻氣體）。 |
| 知名用戶： | 王敬：微電子所 |
| 技術團隊： | 設備工程師：曹秉軍 測試工程師：陳雅璐 |
| 功能特色： | 測量不同溫度條件下的薄膜應力。應力范圍：1 Mpa~ 4×103 Mpa。可測試4、5、6、8英寸晶圓片。 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 測試費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 400.0 | |
| 測量薄膜應力 | 元/小時 | 測試費 | 400.0 |