XPS：固體樣品的表面組成分析，化學狀態分析，取樣訊息深度為～10nm以內. 功能包括:
1. 表面定性與定量分析. 可得到小於10um 空間分辨率的X射線光電子能譜的全譜資訊。
2. 維持10um以下的空間分辨率元素成分包括化學態的深度分析（角分辨方式,,氬離子或團簇離子刻蝕方式）
3. 線掃描或面掃描以得到線或面上的元素或化學態分布。
4. 成像功能。
5. 可進行樣品的原位處理 AES：1.可進行樣品表面的微區選點分析（包括點分析，線分析和面分析） 2.可進行深度分析適合： 納米薄膜材料，微電子材料，催化劑，摩擦化學，高分子材料的表面和界面研究