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  • 發布時間:2022-06-01 09:08 原文鏈接: X射線光電子能譜儀的主要用途

    XPS:固體樣品的表面組成分析,化學狀態分析,取樣訊息深度為~10nm以內. 功能包括:
    1. 表面定性與定量分析. 可得到小於10um 空間分辨率的X射線光電子能譜的全譜資訊.
    2. 維持10um以下的空間分辨率元素成分包括化學態的深度分析(角分辨方式,,氬離子或團簇離子刻蝕方式)
    3. 線掃瞄或面掃瞄以得到線或面上的元素或化學態分布.
    4. 成像功能.
    5. 可進行樣品的原位處理 AES:1.可進行樣品表面的微區選點分析(包括點分析,線分析和面分析) 2.可進行深度分析適合: 納米薄膜材料,微電子材料,催化劑,摩擦化學,高分子材料的表面和界面研究

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