利用SEM-EDS研究了硅襯底上Au、Cu薄膜發射的不同線系特征X射線相對強度間比值隨出射角的變化規律,探討了影響其變化的原因。結果顯示:隨著出射角變大,同一元素不同線系X射線相對強度間比值具有一定變化規律。低能量譜線的強度相對高能量譜線逐漸變大,這種變化主要是受X射線被基體吸收效應的影響所致。在低角度下,特別是在特征X射線全反射臨界角附近,實際測得的低能量特征譜線的相對強度比預期要小,這是因為這些低能量譜線的波長較長,相對于這些譜線的全反射臨界角較大,由膜內產生的低能量譜線,探測器無法探測到而引起。此項研究為X射線薄膜微區分析的定量計算提供依據。
人類已經成功完成了十次月球采樣。月球樣品就像是歷史書一樣記錄了關于月球及其空間環境的“故事”。但我們能在多大程度上讀懂這些歷史書,取決于我們掌握了多先進的微區分析技術。相比于天文觀測和遙感探測,采樣返......
拉曼微區探針(微區拉曼)是把顯微鏡和拉曼光譜聯系起來,測得的拉曼光譜具有較高的精確性,可以用來進行表面光譜學研究,發現與組分化學性質有關的表面均一性。拉曼微區探針的概念最早是由TomasHirshfl......
1、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態成分的鑒定;2、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析;3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析,如:金屬化膜表面鍍層的檢測;4、金銀......
當X射線光子進入檢測器后,在Si(Li)晶體內激發出一定數目的電子空穴對。產生一個空穴對的最低平均能量ε是一定的(在低溫下平均為3.8ev),而由一個X射線光子造成的空穴對的數目為N=△E/ε,因此,......
微區分析也是俄歇電子能譜分析的一個重要功能,可以分為選點分析,線掃描分析和面掃描分析三個方面。這種功能是俄歇電子能譜在微電子器件研究中最常用的方法,也是納米材料研究的主要手段。(1)選點分析俄歇電子能......
本文提出一個直接利用薄膜和襯底的X射線能譜來同時測定薄膜的成分和厚度的新方法,利用薄膜發出的各元素的標識X射線強度比確定其成分,利用NaCl襯底的Nak_α和Clk_α標識X射線的強度隨膜厚增大而衰減......
本文通過在EM400T透射電鏡上用一些標準成分的樣品進行薄膜無標樣成份分析實驗,檢驗了EDAX9100能譜儀的分析準確度。在本試驗所用的樣品范圍內,其準確度為:近鄰元素同一X光線系分析相對誤差為5~1......
本文利用薄膜對入射電子束流的衰減作用和薄膜對襯底的x射線的吸收,提出了一種直接利用襯底的x射線的強度比來測量薄膜厚度的方法。并在各種實驗條件下,對Cu薄膜的厚度進行了測量,得到了較為滿意的結果。&nb......
隨著探頭制造技術水平的提高、電子學技術的發展,以及對脈沖處理技術和重疊峰處理方法的改進,能譜定量分析的精度得到不斷提高。目前,對原子序數在11~30之間的常用元素,其分析精度大體上可以達到波長譜儀的水......
本文利用EM400T透射電子顯微鏡和EDAX9100能譜儀研究微量元素在晶界的偏聚。通過本文采用的電子束直徑小到40A的微探針,低背底樣品臺,沿晶界拉長束斑,分段積分等措施,明顯地提高了分析靈敏度。用......