利用XRF，元素周期表中絕大部分元素均可測量。作為一種分析手段，XRF具有其優越的地方：分析速度快、非破壞分析、分析精密度高、制樣簡單等。波長色散和能量色散XRF光譜儀對元素的檢測范圍為10-5%~100%，對水樣的分析可達10-9數量級；全反射XRF的檢測限已達到10-9~10-12g。同時也存在一些缺點：不能絕對分析，定量分析需要標樣、對輕元素的靈敏度低、易受相互元素干擾等。
