原理：用一束X射線或低能光線照射樣品材料，致使樣品發射二次特征X射線，也叫X射線熒光。這些X射線熒光的能量或波長是特征的，樣品中元素的濃度直接決定射線的強度。從而根據特征能量線鑒別元素的種類，根據譜線強度來進行定量分析。XRF有波長散射型(WDXRF)和能量散射型(EDXRF)兩種，前者測量精密度好，穩定性高，但結構復雜，價格昂貴，應用較受限，后者結構簡單，價格低，但干擾元素多，且準確性低，目前還處在繼續完善階段。
分析元素范圍：4號鈹(Be)-92號鈾(U)
分析特點：分析速度快，操作簡單，適合大塊樣品的測試；可進行元素定性分析，確定元素的類型；可實現全元素掃描；可對元素進行半定量分析，某些元素有標準物質時也可進行定量分析，檢出限較高。