高壓發生器的輸出功率一般為3kW或4kW，將高壓加至X射線光管后，除小部分用于產生X射線外，大部分轉化為熱能，由內部水循環冷卻系統帶走。
內循環水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內循環水為電導率很低的去離子水，以防高壓擊穿。內循環水通過儀器內部的去離子樹脂柱降低電導率，去離子樹脂柱中的樹脂會年久失效，因此高壓無法啟動時，可檢查一下內循環水的電導率，如果電導率降不下去，考慮更換樹脂。另外，內循環水的水位過低，也會導致高壓開不起來。 還有一種故障現象是高壓開起來幾分鐘后跳掉，產生這種故障的原因可能為內循環水的流量過小。內循環水的流量通過流量計測量，水流過流量計時，帶動流量計內的葉輪，葉輪切割磁力線，產生電信號。葉輪在水中長期轉動，可能會銹蝕，從而使葉輪的轉速減慢，流量計的電信號減弱，使儀器誤認為水流量過小而導致高壓跳掉。另外內循環水的過濾網堵塞導致水流量減小，也會引起高壓跳掉。