X射線熒光光譜儀具有重現性好,測量速度快,靈敏度高的特點。能分析B(5)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片,液體等,分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析,并能給出半定量結果,結果準確度對某些樣品可以接近定量水平,分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析,薄膜分析。測量樣品的最大尺寸要求為直徑51mm,高40mm。