X射線熒光光譜儀的防護系統是為了防止X射線泄漏,高壓發生器只有在射線防護系統正常的情況下才能啟動。高壓發生器的輸出功率4Kw,將高壓加至X射線光管后,除小部分用于產生X射線外,大部分轉化為熱能,由內部油循環冷卻系統帶走。內循環冷卻系統用于光管頭部分,因此要求內循環油為電導率很低的專用油。如果長期使用的冷卻油電導率會發生變化應及時更換。如果循環系統的流速過低也會發生高壓開不了的故障,一般原因是油泵停轉或是電機燒壞。