X射線熒光光譜分析儀（XFR）是一種精密分析儀器，在20世紀80年代初就已經是一種成熟的分析方法，但儀器價格昂貴。作為一種重要的多元素分析手段，儀器工作分析原理是用X射線照射試樣時，試樣可以被激發出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線強度，以進行定性和定量分析。適用于鋼鐵行業、金屬材料、生物化工原料等很多行業中。
