X射線熒光光譜法正是基于以上物理學原理而產生的,從X射線管產生X射線,X射線經過濾或單色化處理入射樣品,入射樣品X射線與物質相互作用,產生的元素特征X射線熒光,進入探測器記錄其強度,能量色散型探測器的各種效應。都有可以遵循的X射線熒光的物理學理論,而這些明確的物理學理論,有大量的規律可循,進而可以建立理論數據庫,譬如基本參數庫等,也可以將明確的物理學現象數學模型化,利用軟件技術,形成針對X射線熒光整個物理過程強大的計算軟件。