①分析的元素范圍廣，除少數輕元素外，周期表中幾乎其他所有的元素都能進行分析。隨著儀器的改進，分析元素已經擴展到F，O，C等輕元素。
②熒光X射線譜簡單，譜線干擾少，對于化學性質極其相似的元素，如稀土、鋯鉿、鉑系等，不需經過復雜的分離，就能成功地完成分析工作。
③分析的濃度范圍較寬，從常量組分到痕量雜質都能測定。主要用于常量分析和一些元素的微量分析。
④分析試樣不受破壞，分析迅速準確，也便于實現自動化，因此在生產中越來越多地用于流水線分析。
