1.測量元素：Na—U；
2. X射線管：銠（Rh）靶/管電壓50 kV /管電流1 mA；
3. X射線熒光檢測器：SDD硅漂移檢測器；
4.透過X射線檢測器：NaI（Ti）晶體；
5. X射線導管：單毛細管10μm / 100μm無濾光片；
6.光學圖像：樣品整體光學像及共軸放大圖像；
7.樣品臺尺寸：100 mm×100 mm（X×Y）；
8.樣品倉：全真空模式/最大真空300 mm×300 mm×80 mm；
9.樣品尺寸：10μm2—10 cm2；
10.信號處理：數值脈沖處理器（INCA處理器）。