原理
當原子受到原級X射線或其他微觀粒子的激發使原子內層電子電離而出現空位，原子內層電子重新配位，較外層的電子躍遷到內層空位，并同時放出次級X射線，即X射線熒光。X射線熒光的波長對不同元素是特征的，因此可以根據元素X射線熒光特征波長對元素做定性分析，根據元素釋放出來的熒光強度，來進行定量分析如元素厚度或含量分析。
技術指標
可測元素范圍：鈦Ti~鈾U；可測多層膜厚：最多6層；成分分析；可同時分析30種元素。
