1、關閉所有電源開關。
2、打開機后蓋，拔去暗室高壓電源及信號源插頭，斷開連接管線。
3、松開暗室與底座上固定螺絲，取出暗室后，反應暗室端蓋固定螺絲。(有氣路管線的端蓋)。小心取下壓蓋、濾光片。如果“O”型圈破碎，請換用新的。
4、用擦鏡紙擦拭石英片和濾光片，用干凈不帶毛的軟布擦拭反應室內壁，如有必要，可沾用丙酮或乙醇擦洗干凈，再用氧氣吹干。
5、反應室清洗完畢，重新按順序安裝。注意：固定濾光片、石英片時，動作要平穩，緊固程度以保證不漏氣即可，謹防濾光片、石英片破裂。濾光片、石英片位置不要裝反，石英片在反應室內壁，用于保護濾光片。
6、把暗室固定到檢測器上，接好連接線及氣路管線，避免漏光、漏氣現象。