（1）X射線系統（X射線光管、高壓變壓器、管壓管流控制單元）；
（2）水循環冷卻系統（內外部冷卻水單元、溫度、電導率控制監測單元）；
（3）真空系統（真空泵、樣品室）；
（4）檢測系統（光譜室、分光晶體、衰減器、狹縫、測角儀、晶體交換器等）；
（5）檢測記錄系統（流〈充〉氣正比計數器和閃爍計數器、脈沖高度分析器等）；
（6）數據處理系統。
