X射線熒光光譜通常用于分析均勻樣品中的成分含量。對于大多數樣品來講，樣品中被激發的各個元素的X射線熒光只來自于樣品表面，樣品內部的X射線熒光被樣品本身吸收了。所以，X射線熒光信號的強度與樣品的厚度無關。這種樣品稱之為無限厚樣品。
? 當樣品很薄時，比如鍍層樣品，樣品中被激發的X射線熒光可能會穿透鍍層，鍍層的厚薄會影響X射線熒光信號的強弱，鍍層越厚，鍍層中被激發的X射線熒光信號就越強。
? 當鍍層的厚度或鍍層的成分發生變化時，X射線熒光的信號會隨之變化。通過建立鍍層厚度和成分與X射線信號強度的關聯關系，就可以分析鍍層的厚度和成分。