金屬成分分析儀是采用XRF（熒光光譜分析）原理，對金屬材料成分進行快速檢測的儀器。由于X射線波長很短，因此是不可見的。但它照射到某些化合物如磷、鉑氰化鋇、硫化鋅鎘、鎢酸鈣等時，由于電離或激發使原子處于激發狀態，原子回到基態過程中，由于價電子的能級躍遷而輻射出可見光或紫外線，這就是熒光。X射線使物質發生熒光的作用叫熒光作用，熒光強弱與X射線量成正比。美國伊諾斯（INNOV-X）公司利用X射線熒光光譜分析儀原理推出世界第一臺應用于金屬材料檢查的手持式金屬成分分析儀Alpha-2000，該儀器能夠快速分析金屬材料成分及含量。