XRF的發展過程

1895 年，德國物理學家倫琴 ( Roentgen WC) 發現了 X射線。1896 年，法國物理學家喬治( Georgs S) 發現了 X射線熒光。1948 年，弗利德曼( Friedman H． ) 和伯克斯( Birks L S)首先研制了第一臺商品性的波長色散 X射線熒光( WDXRF) 光譜儀。1965 年，探測 X射線的 Si( Li) 探測器問世了，隨即被裝配于 X射線熒光光譜儀上，成為能量色散 X射線熒光( EDXRF)光譜儀的核心部件。1969 年，美國海軍實驗室 Birks 研制出第一臺真正意義上的EDXRF 光 譜 儀。二 十 世 紀 七 十 年 代 初，EDXRF 光譜儀正式跨入儀器分析行業。與此同時，還相繼出版了多部有關 EDXRF 光譜分析的論著。近半個世紀以來，隨著半導體技術和計算機技術的迅猛發展，特別是半導體探測器出現和性能不斷地提高，EDXRF 光譜儀的生產和應用也得到了快速發展，其市場占有量已與WDXRF 光譜儀平分秋色。目前，我國有多家研制、生產、組裝 EDXRF 光譜儀的廠商，其產品主要性能指標基本接近國際先進水平。EDXRF 分析技術發展至今，已成為一門較為成熟的分析技術，被廣泛用于冶金、地質、礦物、石油、化工、生物、醫療、刑偵、考古等諸多部門和領域。EDXRF 光譜儀已成為對物質的化學元素、物相、晶體結構進行試測、對人體進行醫檢和微電路的光刻檢驗等的重要分析工具，是材料科學、生命科學、環境科學等普遍采用的一種快速、準確而又經濟的多元素分析儀器;EDXRF 光譜儀已成為理化實驗室的重要工具，是野外現場分析和過程控制分析等方面首選儀器之一。