X射線熒光分析法是一種現代儀器分析方法，具有分析迅速、非破壞性分析、光譜不受化學狀態的影響、分析精度高、分析范圍廣（4Be～92U）、定性定量分析、樣品制備簡單等優點。
儀器裝置分為X射線發生裝置、分光裝置、計數記錄裝置。
