Zygo發布全新Qualifire激光干涉儀

　　阿美特克(紐約證券交易所代碼:AME)旗下Zygo公司宣布發布其最新的激光干涉儀Qualifire?。Qualifier加入了一系列高端干涉儀解決方案，該儀器旨在支持半導體、光刻、星載成像系統、尖端消費電子產品、國防等行業中最苛刻的計量應用。Qualifire將于1月30日在加州舊金山的SPIE Photonics West首次亮相。這款干涉儀在不犧牲性能的情況下，將顯著的增強功能集成到一個更輕的小型封裝中。

　　Zygo 激光干涉儀產品經理 Erin McDonnell 表示：“我們很高興將 Qualifire 推向市場，其改進的人體工程學設計使其易于使用，并且比 Zygo 的許多其他激光干涉儀更便攜。使用激光干涉儀進行的測量往往對噪聲、污染物和其他偽影敏感，因為該儀器能夠提供納米級精度；Qualifire上的可選模塊飛點可主動減少甚至消除這些偽影，從而提高測量的可靠性和可重復性。飛點結合了Zygo最好的兩種偽影減少技術：環紋和相干偽影減少。飛點在需要高精度的應用中尤其有價值，包括科學研究和先進的制造工藝。

　　Qualifire為Zygo的激光干涉儀產品線帶來這些功能和改進：

　　Qualire激光干涉儀提供了許多新穎的新功能。

　　智能附件接口——干涉儀可以識別任何安裝的“智能附件”，并自動應用系統錯誤文件并執行橫向校準。

　　體積小、重量輕——最小的 Qualifire 型號重約 45 磅（20.4 千克）。 它是真正的便攜式，特別是對于干涉儀必須經常移動或調整的復雜和精密應用。

　　移相器（PMR）——PMR 是調制測試部件和參考光學器件之間干涉條紋所必需的，最終可創建定量表面圖。其整體設計提供：

　　整體機械穩定性和對準

　　降低損壞或錯位的風險

　　確保性能一致，減少重新校準的需要

　　改進的用戶體驗——方便使用的電源按鈕和運動安裝支腳使設置更易于使用。大型控制旋鈕可實現更精確的調整，這對校準和校準都至關重要。 集成手柄確保安全可靠的操作。

　　更易于維護—— 密封的光學系統和整合的電子元件使更換各種組件變得簡單，而不會使光學元件暴露在污染物中。

　　飛點——用于減少偽影的可選模塊，包括自動對焦功能。

　　穩定變焦——提供新變焦方法的選項，可在所有放大倍率下實現完美的圖像配準和衍射限制圖像采樣。

　　計量集團副總裁Kurt Redlitz 表示：“Qualifire 保持了 Zygo 在計量方面的高標準，同時提供了最高水平的精度并優化了用戶體驗。通過改進的人體工程學設計，它可以在不犧牲性能的情況下提高操作效率和部署靈活性。Qualifire 是一款更強大、更可靠、用戶友好的儀器，可隨時應付最苛刻的應用和環境——精度不容置疑。