快速退火爐系統設計與實現
快速退火爐是現代大規模集成電路生產工藝過程中的關鍵裝備 主要用于離子注入后雜質的激活、淺結制作、生長高質量的氧化膜層和金屬硅化物合金形成等工藝。隨著集成電路工藝技術的飛速發展,開展快速退火爐系統的技術研究,對國內開發和研究具有自主知識產權的快速退火爐裝備,有著十分重要的理論意義和工程應用價值。 本文針對現代半導體器件退火工藝對快速退火爐系統的技術要求,在綜合分析國內外各種快速退火爐系統技術基礎上,通過深入的分析研究,設計了系統總體技術方案。擬定采用燈光輻射型熱源裝置,上下兩排成正交的燈管組對位于其中間的半導體硅片進行直接加熱實現溫度的快速上升,以單點測溫作為溫度測量的解決方案作為系統總體方案。 根據熱傳導基本理論,以實現系統總體技術指標作為已知參數計算得到系統所需要的熱功率,在此基礎上實現熱源與反應腔體、冷卻系統......閱讀全文
快速退火爐中的天然氣流量測量用哪種流量計來解決？
解決退火爐中的天然氣流量測量可以使用V錐流量計來解決，另外需要現場就地顯示的話，大多數是使用多參量差壓流量計，這個也是V錐流量計的升級，可同時測量測量以及差壓。在原始的天然氣流量測量中，可以使用熱式氣體質量流量計、渦街流量計等儀表來計量，隨著流量計的不斷發展，流量計的種類也越來越多。 多參量差
鋼管退火爐的工藝要求
a、 本設備適用于有色金屬行業、銅材行業、等光亮熱處理。 b、 本設備是關鍵件采用進口、其佘均用國產優質材料。 c、 本設備嚴格把守質量關，其性能與國外產品具備同等水平。 d、 傳動采用托輥式同步傳動，變頻調速、平穩、可靠。 e、 爐膛上裝有強力攪拌風扇，電熱元件布置合理，爐內溫度和氣氛
井式退火爐的簡介
井式退火爐（井式爐）適用于盤圓線材，不銹鋼絲、少氮化,無脫碳.使工件退火后保持整潔。 井式退火爐是用角鋼及鋼板焊接而成的圓柱形外殼，外殼內采用節能型纖維模塊或輕質耐火磚砌筑成井式的爐膛，加熱元件安放在爐膛四周的擱磚上，耐火磚與外殼之間的間隙填滿了絕熱材料，加熱的工件裝入爐罐后通過車間的起重設備送
箱式退火爐的相關介紹
爐襯采用全纖維結構，相對磚式爐膛節能60%左右，采用優質長纖維刺毯為原料，使用專用設備根據爐體制成各種規格，并在加工過程留有一定的壓縮量，以保證模塊在砌筑完畢后，每塊陶瓷纖維塊在不同方向膨脹，使模塊之間互擠成無間隙的整體，達到完好蓄熱效果，而且該產品施工方便快捷，均能直接固定于爐殼鋼板的不銹鋼錨
光亮退火爐的特點介紹
光亮退火爐的適用范圍：1.黑色金屬和有色金屬鋼帶、鋼絲、鋼管件和成品光亮退火。2.標準件、鏈條、機械零部件等散件光亮退火。光亮退火爐的主要特點：1.材料整個退火工藝過程都置于保護氣氛中,經退火的工件表面光亮無氧化,鋼材表面不脫碳。2.由于爐內保護氣強對流循環,爐溫均勻,使爐內材料溫差在±5℃?以內；
退火爐的工作方式和幾種分類方法
快速退火爐是以碘鎢燈管為發熱元件，升溫速度極快，采用S型熱電偶測溫并采用的模糊PID控制，具有很高的控溫精度〈±5℃〉，快速退火爐具有真空裝置，可在多種氣氛下工作。?退火爐的工作方式：?退火爐制造為方形或圓形爐體結構，爐膛安裝耐火磚和硅酸鋁纖維復合保溫，或以全纖維保溫爐襯結構，工件放置在爐膛內，通過
真空退火爐系類相關介紹
臥式真空退火爐 用途： 本系列臥式真空退火爐主要應用于特種材料、不銹鋼、硒鋼片鐵芯、貴金屬零件、銀銅復合鉚釘及片件的真空退火處理。 設備特點： 1. 本設備專用于小零件等在真空狀態下的退火； 2. 爐罐密封性好，有效的避免了工件在退火處理中的表面氧化、生銹，提高了處理質量； 3. 保溫
真空退火爐的部分結構簡介
爐罩殼體： 主要采用優質國標型鋼骨架及鋼板焊接而成，保證了爐子的密封性能及足夠的剛強度，且所有焊縫均勻平滑，無氣孔、夾雜、未熔合等缺陷，爐殼外觀平直、美觀。爐殼外電熱元件引出棒集中分布，并外設防護罩。 爐罩驅動機構： 爐罩驅動采用自行走方式，由電機減速機傳動（8m/min）； 車輪共5排
井式退火爐的結構簡介
1、爐體：井式退火爐是一個用角鋼及鋼板焊接而成的圓柱形外殼。 2、爐膛：采用全纖維節能結構，選用目前國內全新型標準型陶瓷纖維毯作為膛的隔熱保溫材料，制作時使用專用設備按爐膛尺寸制作成折疊塊，達到完好蓄熱效果，這種爐體維修十分方便，若因機械碰撞而損壞，只要進行局部的修補即可使用。這種爐襯還具有安
井式退火爐的結構組成
井式退火爐的結構組成公司擁有完善的生產設備和全套檢測設備，自己的設計研發人員，可根據客戶的需求提供各種退火爐產品，下面對井式退火爐的組成簡單介紹：? 1、井式退火爐爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。?? 2、爐蓋支撐采用型鋼和導軌組合移動式。?? 3、加熱元件采用高電阻合金0Cr2l5布置在爐側。??
罩式退火爐的相關介紹
金屬材料加熱到適當的溫度，保持一定的時間，然后緩慢冷卻的熱處理工藝。常見的退火工藝有：再結晶退火，去應力退火，球化退火，完全退火等。退火的目的：主要是降低金屬材料的硬度，提高塑性，以利切削加工或壓力加工，減少殘余應力，提高組織和成分的均勻化，或為后道熱處理作好組織準備等。 RZ-鐘罩式電爐每套
真空退火爐的技術參數
技術參數 1、爐膛工作區尺寸（室一）： 7000×900×830mm 爐膛工作區尺寸（室二）： 14000×900×830mm 2、爐膛額定溫度：950℃ 3、爐溫均勻度： ≤±10℃ 4、控溫精度: ±1℃ 5、加熱功率 : 280Kw/520Kw（0～120%無級可調） 6、額
真空退火爐的相關內容
鈦具有金屬光澤，有延展性。密度4.5克/立方厘米。熔點1660±10℃。沸點3287℃。鈦的主要特點是 密度小，機械強度大，容易加工。鈦的塑性主要依賴于純度。鈦越純，塑性越大。有良好的抗腐蝕性能，不受大氣和海水的影響。在常溫下，不會被稀 鹽酸、稀 硫酸、 硝酸或稀堿溶液所腐蝕；只有 氫氟酸、熱的
管材真空退火爐工藝和設備特點
1、設備概述 全纖維雙爐臺罩式電阻爐,系周期作業式爐,專供鈦管、鈦合金管等真空保護氣氛退火熱處理加熱。 該爐與PID智能溫度程序控制系統配套使用，可自動指示、控制和記錄該爐爐溫工作情況 2、設備特點 2.1、本設備為兩個固定式爐臺和14米一端固定的爐體及一個可移動加熱罩結構，固定爐臺承載
真空退火爐的主要功能
控制部分的主回路和控制回路分開，均配有空氣開關和斷路器作為操作單元，既有利于調試及維修又能對系統的短路和過載進行可靠的保護。整個控制系統具有升溫設定、鎖定、故障報警、溫度記錄等功能。 溫度控制采用引進智能型專家PID自整定程序控制調節方式，可控制固態可控集成調功模塊的連續輸出，將爐溫控制在理想
真空管材退火爐調試內容
料車推拉機構 1、點動 減速機電機按鈕，檢查電機轉向是否符合推拉方向要求； 2、把推拉桿掛上料車，啟動按鈕把料車在全程范圍內跑動幾次，檢查各連接處、車輪及軸承處有無異常； 3、.檢查推拉小車前后限位的動作情況是否正常； 4、檢查爐門的開啟和關閉有無卡塞現象； 冷卻系統 1、打開進水閥
退火爐的四大功用
退火爐的四大功用，退火爐是一種非常常見的熱處理設備，其主要作用在于能將加熱到一定程序的材料，通過逐步退火的方式來降低溫度，避免因溫度驟降導致材料內部出現損壞或是達不到預期的目的。總的來說，退火爐的主要功能體現在以下4個方面：1、改善或消除鋼鐵在鑄造、軋制、鍛壓以及焊接過程中所造成的各種組織缺陷以及殘
簡介真空退火爐的主要結構形式
1、高溫高輻射率電熱元件： 采用高溫高輻射率電熱合金扁帶（材質：0Cr25Al5），低表面負荷 (≤1.6w/cm2)長壽命設計。 將電阻帶往復繞制，利用專用高溫白剛玉瓷螺釘錨固懸掛于爐膛內表面，合理布置在爐膛的四周及爐底。 電熱元件分布,按爐膛前中后共分6個控溫區分布在爐膛內，并局部集中
高真空退火爐的設備優勢與應用
目前國內高溫退火爐加熱大都為管式爐或馬弗爐，原理為加熱絲或硅碳棒對爐體加熱，加熱與降溫速度慢，效率低下，也無法實現溫度的高精度測量，加熱區域也存在不均勻的現象，華測儀器通過多年研究開發了一種可實現高精度，高反射率的拋物面與高質量的加熱源相配置，在高速加熱高速冷卻時，具有良好的溫度分布。可實現寬域均熱
箱式退火爐的設備用途和缺點簡介
設備用途 RX3系列全纖維大型節能箱式爐是國家標準節能型周期式作業箱式爐，超節能結構，采用纖維結構，節電60%。獨家生產采用復合式高鋁瓷釘組，自動密封爐門。主要用于高鉻、高錳鋼鑄件、球墨鑄鐵、軋輥、鋼球、45鋼、不銹鋼淬火、退火、時效以及各種機械零件熱處理之用。 缺點 箱式爐的缺點是，由于
一體型馬弗爐/箱式電爐/高溫退火爐特點
1.整機一體式設計，大屏幕液晶顯示，多組數據一屏顯示，美觀大方，操作簡潔。2.升溫速度快，由室溫升至1200℃小于25分鐘。3.智能PID高精度控制，實現了功率無損耗。4.熱污染少，采用新型陶瓷纖維絕熱保溫材料，爐體與外殼采用空氣隔熱結構，表面溫度升低。升溫至1000℃并保持1小時后外殼表面不燙手（
小型連體升降型煅燒退火爐有哪些特點？
電爐采用爐控一體設計，電爐以U型硅鉬棒為加熱元件，采用PID智能程序控溫、并帶有過熱和斷偶保護，全自動運行。加熱元件分布在爐膛的四周，熱場溫度均勻，溫差小，爐殼表面溫度低，爐膛采用新型特種耐火纖維制品，爐膛溫度可達1800℃。無污染、無揮發、節能環保、安全穩定、使用壽命長。小型連體升降型煅燒退火爐廣
華測高溫管式爐的優勢與應用范圍
一、設備用途：工礦企業、高校、研究所等做高溫燒結、金屬退火、質量檢測。粉末冶金行業以及義齒加工行業的烘烤、氧化鋯盤預燒結等。根據加熱區大小，進行小試，中試，批量生產。二、設備優勢：1.華測儀器高溫管式爐使用的反射鏡是具有高精度曲率,采用5軸加工系統加工,以提高反射率。反射鏡有兩種類型，一種是橢圓形的
真空退火爐的系統配置和節能措施
系統主要配置： 組合柜體 (2臺) （定制） PID智能溫度程序控制儀 (6只) (日本·富士) 功率智能控制器 (6只) (希曼頓) 可控硅調功模塊(400A):（6套） (希曼頓) 高溫熱電偶(K分度芯) （6支） （上海浦光） 六點溫度記錄儀 （1臺） （上海大華） 其它儀表
DF2000熱釋光退火爐操作規程
一．安全操作規程?檢查電路開關接觸是否良好；?檢查爐門是否閉合緊密到位；?檢查儀表溫度指示是否準確；爐子運行全程應有工作人員盯守。二．操作前準備1 打開退火爐開關，等溫度升至要求的溫度開始退火；2 正確穿戴防護用品。如：佩戴隔熱手套，禁止裸手或使非隔熱手套進行操作，準備好夾子；3放入裝好片的退火盤，
退火爐溫度控制系統的發展現狀
真空退火是隨著精密機械制造、航天、國防等尖端工業而發展起來的新型熱處理方法，特別是近些年來，對零件性能、精度要求的提高使真空退火爐越來越受到人們的重視。國際上從上世紀70年代開始就開始了退火爐計算機控制的研究，近年來由于計算機技術以及新的控制技術的迅速發展，退火爐的計算機控制得到了迅速的發展，退火爐
退火爐的爐殼變形的根本原因和解決方案
退火爐的爐殼變形的根本原因和解決方案變形嚴重的情況要在變形區進行局部加熱，焊前必須將焊縫處的油污還有臟物、氧化皮等清理干凈必須千斤頂、夾鉗、螺栓等進行矯正，變形小的情況處理方法：冷態下直接矯正就可以了。退火爐爐殼局部變形〔局部凹陷或突出)產生原因包括三方面：爐殼局部過熱，爐殼焊縫區應力集中，受外部或
清華大學儀器共享平臺愛發科－燈加熱退火爐
儀器名稱：燈加熱退火爐儀器編號：21006364產地：日本生產廠家：愛發科真空設備（上海）有限公司型號：MILA-5000-P-N出廠日期：購置日期：2021-04-06所屬單位：電子系>納米光電子綜合測試平臺放置地點：羅姆樓B1-304室固定電話：62796594固定手機：15910619833固
不銹鋼管退火不光亮的五個主要原因
正常情況下，不銹鋼管經過退火爐的光亮退火后會形成光亮，如果出現不光亮的情況需要及時檢查哪里出了問題，找出原因及時解決，做好記錄。下面說說不光亮的幾個主要原因： 1、退火溫度是否達到規定溫度。不銹鋼熱處理一般是采取固溶熱處理，也就是人們平常所謂的"退火"，溫度范圍為1040~1120℃（日本
藍寶石晶片退火的方法
藍寶石晶片退火的方法藍寶石晶體(Al2O3)是超高亮度的藍、白光LED發光材料GaN常用的襯底材料， 而GaN嘉晶的晶體質量與所使用的監寶石襯底(基板)表面加工質量密切相關，尤其是圖形化襯底(PSS)與晶片的表面形貌、翹曲程度聯系密切，同時，晶片的翹曲程度過大，會在平片做GaN磊晶時，平片與外延