產生故障的可能原因及排除方法:
a. 空氣泄漏,排除方法是檢漏,檢查柱子的連接情況;
b. 氦氣即將用盡, 氣瓶內雜質富集,排除方法是更換載氣瓶并安裝脫氣裝置;
c. 新近清洗的離子源未烘干,排除方法是設置250℃的離子源溫度烘烤離子源;
d. 柱子被污染,排除方法是老化柱子。