微納制造與測量技術教育部工程中心

微納制造與測量技術教育部工程研究中心暨天津市微納制造技術工程中心（簡稱MNMT），依托于天津大學精密儀器與光電子工程學院、精密測試技術及儀器國家重點實驗室、微納制造與測試研究所，主要從事微機電系統（MEMS）、超精密微納加工、微納測量與裝備等微納制造技術的產業化工作。

　　在微機電系統方向，MNMT以薄膜體聲波諧振技術為核心，在MEMS濾波器、振蕩器、傳感器前沿研究與產業化應用方面，取得突破性進展。打造了國內高校唯一集設計、加工、封裝、測試于一體的MEMS實驗線，與知名企業建立了深入的產學研合作，引入外部資本創立了專業企業。

　　在超精密微納加工方向，MNMT專注于光學自由曲面加工、硬脆性材料復雜曲面加工、聚焦離子束納米加工、精密微注塑、壓鑄技術等方面的研究與開發。在前沿科技領域開展創新性研究，獲取具有自主知識產權的創新成果，培養和凝聚創新性人才，構建高水平實驗技術和國際學術交流平臺。為高校、院所、企業提供高難度加工服務，服務國內外單位逾百家，技術水平躍居國際前列。

　　在微納測量與裝備方向，MNMT致力于新型、高端微納尺度測量技術及相關儀器系統的研究，在微結構光學測試技術（微視覺、反射差分光譜、顯微干涉、X射線三維顯微成像等）和掃描探針測試技術等方面取得了系列化的創新成果。自主研制成功多套微結構幾何量和機械量光學測試系統和原子力顯微鏡，解決了超薄膜生長實時監測、跨尺度表面形貌及相關幾何量精密測量、MEMS三維耦合運動特性測量、亞微米級三維透視顯微成像等一系列國際性測量難題，技術水平在國內處于領先地位。

　　MNMT擁有長江學者1人、創業千人1人、青年千人2人，由20位教授、副教授與30位工程師構成的科研-產業化協同團隊，支持中心在新一代信息技術和高端裝備制造等戰略性新興產業領域取得了長足發展，在先進制造、微電子、儀器與傳感、材料、生物、巖石礦物、國防等多個前沿和重點領域拓展了關鍵應用，有效推動我國微納制造領域科學研究與產業化水平的提升。