外置標準漏孔是檢驗氦質譜檢漏儀準確性的標準。氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進入質譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標準漏孔。
測試用4個標準漏孔(E-6,-7,-8-,9,單位:mbar.l/s)對兩臺檢漏儀進行標定并給出結果。其中阿爾卡特adixen ASM142在自檢通過后,-7,-8,-9比較準確,但-6出現了嚴重偏差,如果這臺檢漏儀去檢測合格率為-6量級的工件,會產生嚴重誤判。但這不意味這臺檢漏儀不能工作。這個時候,正確的辦法是用-6的漏孔對該檢漏儀進行外部校準,用校準好的檢漏儀再去檢測工件就沒有問題。另一臺檢漏儀是美國雷科LACO T100氦質譜檢漏儀,這臺檢漏儀在每個量級都表現了極高的準確性和一致性。其中的差別是T100檢漏儀不再象ASM142這樣的用線性擬合的方式,而是充分利用CPU的運算能力以及存儲能力,針對各種電位參數,分流比等情況的大量的匹配工作,從而保障檢漏儀的精確性。這代表了當前業績氦質譜檢漏儀的先進水準!