沈陽自動化所納米操作機器人研究取得新進展

　　近日，國際學術期刊Small 以封面刊載的形式，邀請刊載了中國科學院沈陽自動化研究所機器人學研究室微納米課題組在類生命機器人使能領域的最新成果。該研究利用與超聲加工、檢測協同設計的納米操作機器人實現了亞微米尺寸的二硫化鉬場效應管的制造，為建立工程化細胞的多維信息同步獲取接口提供了有效途徑，為實現基于活體細胞的生命本征感知器件的成功制造奠定了基礎。

　　該研究將超聲與納米操作機器人結合，將超聲的優異特性引入了納米尺度，利用超聲加工的沖擊特性提升了加工結構邊緣的線性度、減小了加工力，利用超聲相位檢測與加工能量損耗之間的特定關系實現了任務空間內加工深度的閉環控制，提出了“相位模式”的加工方法，克服了傳統納米操作機器人加工存在的突出問題，并且結合剝離工藝（lift-off）實現了亞微米尺寸的二維材料場效應管的一體化的制造，為基于活體生物材料—二維材料—半導體材料的類生命感知器件的制造提供了更為有效、便捷和靈活的使能技術。

　　近年來，沈陽自動化所微納米課題組基于生命系統與機電系統相融合的類生命機器人研究理念，圍繞類生命使能技術、類生命感知、類生命驅動和類生命智能開展相關研究。本次封面刊發的研究成果展現了基于先進類生命機器人使能技術的機器人感知系統由非生命介質向生命體介質轉變的可能性，向著全面建立類生命機器人系統堅實邁進。課題組該領域的前期成果先后發表在Nature Communications，Small，ACS Applied Materials & Interfaces，Lab on a Chip，Nanoscale，IEEE Trans 匯刊等國際期刊，研究布局逐步系統化、體系化，為未來取得更好的成果奠定了工作基礎。