檢漏儀檢漏的原理
有兩種方式可以檢測出泄漏：
1. 示蹤氣體 A 放在容器里面，處于正壓，然后用儀器去檢測，容器周邊是否有氣體 A，如果容器外有氣體 A，則容器有漏。用這種方式能檢測出漏點，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫 Sniffer 檢漏或正壓檢漏。
2. 示蹤氣體 A 噴在容器外面，用儀器去檢測容器里面是否有氣體 A。這種方式能檢測出漏點，并能測知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。
如何選擇檢漏方式，與檢測物件的工作環境有很大關系，盡量做到與檢測物件的工作狀態一致。如檢測物件工作時內部處于正壓，則用正壓模式，如檢測物件工作時內部處于負壓，則用真空模式。
真空法質譜檢漏
采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或氦質譜檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品泄漏量測量。
正壓法氦質譜檢漏
采用正壓法檢漏時，需對被檢產品內部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環境中，再采用吸槍的方式檢測被檢產品周圍大氣環境中的氦氣濃度增量，從而實現被檢產品泄漏測量。
真空壓力法氦質譜檢漏
真空壓力法檢漏時，需要將被檢產品整體放入真空密封室內，真空密封室與輔助抽空系統和檢漏儀相連，被檢產品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當被檢產品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入真空密封室，再進入氦質譜檢漏儀，從而實現被檢產品總漏率的測量。