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  • 發布時間:2019-12-17 14:47 原文鏈接: 第一臺掃描電鏡發明者

          1926 Busch 發現電子可像光線經過玻璃透鏡偏折一般, 由電磁場的改變而偏折。1931德國物理學家Knoll 及Ruska 首先發展出穿透式電子顯微鏡原型機。
      發展歷史如下:
      1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長成反比。
      奠定了顯微鏡的理論基礎
      1897 J。J。 Thmson 發現電子
      1924 Louis de Broglie (1929 年諾貝爾物理獎得主) 提出電子本身具有波動的物理特性, 進一步提供電子顯微鏡的理論基礎
      1926 Busch 發現電子可像光線經過玻璃透鏡偏折一般, 由電磁場的改變而偏折
      1931德國物理學家Knoll 及Ruska 首先發展出穿透式電子顯微鏡原型機
      1937 首部商業原型機制造成功(Metropolitan Vickers 牌)
      1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發展成功
      1938~39 穿透式電子顯微鏡正式上市(西門子公司,50KV~100KV,解像力20~30?)
      1940~41 RCA 公司推出美國第一部穿透式電子顯微鏡(解像力50 nm)
      1941~63 解像力提升至2~3 ? (穿透式) 及100? (掃描式)
      1960 Everhart and Thornley 發明二次電子偵測器。
      
      1965 第一部商用SEM出現(Cambridge)
      1966 JEOL 發表第一部商用SEM(JSM-1)
      1958年中國科學院組織研制
      1959年第一臺100KV電子顯微鏡 1975年第一臺掃描電子顯微鏡DX3 在中國科學院科學儀器廠(現北京中科科儀技術發展有限責任公司)研發成功
      1980年中科科儀引進美國技術,開發KYKY1000掃描電鏡。


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