通過以電感耦合等離子體為離子源，然后以質譜計的無幾多元素分析技術。
被分析的樣品通常是以水溶液的氣溶膠形式引入氬氣流中，然后進去由射頻能力激發的處于大氣壓下的氬離子體中心區，等離子體的高溫會使樣品去溶劑化，汽化解離和電離。
PS,
ICP中心通道溫度高達大概在7000K(如果沒記錯)，引入的樣品完全解離，具有搞的單電荷分析物離子產率，低的雙電荷離子，氧化物以及其他分子復合離子產率，是比較理想的電子源。
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