氦質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度最高，用得最普遍的檢漏儀器。
氦質譜檢漏儀方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用，這種方法的優點是:
檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級，儀器響應快，氦分子在儀器高真空的環境中擴散的速度很高；所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。在一般工業領域里原子能、發電廠、配電站、合成氨的氮肥生產廠、汽車制造業、造船工業、制冷工業、冶金工業、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題，同樣在導彈武器裝備中也離不開檢漏，導彈彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質譜檢漏儀，本文主要真對氦質譜檢漏儀原理及方法進行綜述。
氦質譜檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度為10-9～10-12Pam3/s，廣泛地用于各種真空系統及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲顯著減小．其靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點．適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。