等離子體原子發射光譜儀工作原理是：
待測試樣經噴霧器形成氣溶膠進入石英炬管等離子體中心通道，經過光源加熱激發所輻射出光，經光柵衍射分光，通過步進電機轉動光柵，將元素的特征譜線準確定位于出口狹縫處，光電倍增管將該譜線光強轉變為光電流，再經電路處理，由計算機進行數據處理來確定元素的含量。
