特征X射線
高能電子入射到樣品時，樣品中元素的原子內殼層(如K、L殼層) 處于激發態原子較外層電子將迅速躍遷到有空位的內殼層，以填補空位降低原子系統的總能量，并以特征X射線釋放出多余的能量。
吸收電子
入射電子與樣品相互作用后，能量耗盡的電子稱吸收電子。吸收電子的信號強度與背散射電子的信號強度相反，即背散射電子的信號強度弱，則吸收電子的強度就強，反之亦然，所以吸收電子像的襯度與背散射電子像的襯度相反。通常吸收電子像分辨率不如背散射電子像，一般很少用。
