1）電纜和管路。注意查看電纜是否有破損 ，特別要注意查看C型架尾部的電纜和管路懸掛是否牢固，防止脫落被擠壓損壞，導致不應有的損失。
2）C 型架的行走情況。觀察 C 型架行走是否平穩 ，是否有卡阻和步進現象。行走不平穩本身不是大問題 ，但有隱患 ：有可能引起接插件、標樣片、快門松動 ，影響校準精度和測量結果。C 型架在前后的停止位置應正確 ，否則應檢查限位開關及撞塊。
3）射線源的電壓和電流。射線源的穩定是測厚儀穩定運行的基礎。平時應多注意每個 KV 段的電壓值和電流值 ，作好記錄。發現異常的波動或變化應立即關機 ，先檢查冷卻水和電纜 ，如無異常 ，意味著射線源或驅動板可能有故障。
4）探頭的全電壓和零電壓。測厚儀使用一段時間 ，各個KV 段的全電壓和零電壓的值都可能會有一些變化。經常記錄各個 KV 段的全電壓和零電壓 ，與標定測厚儀時的數值相比較 ，如果偏離不大 ，使用“校準”功能還是能保證測量精度的 ；如果偏離大了 ，說明有問題存在。如果探頭電壓不正常 ，應首先檢查快門打開和關閉是否到位 ，X 射線束的通路中是否有異物 ，窗口是否干凈 ，排除這些可能后 ，再考慮探頭、放大器或是射線源、采集卡的因素。正常情況下 ，全電壓在 8.5 ～ 9.5 V 之間 ，通常使用在 9.0 ～ 9.2V（因設備調試情況不同而異）。零電壓應低于 0.02 V。注意 ：這里所說的探頭電壓 ，是指在維護頁面上讀出的數值 ，它是探頭檢測到的信號經過前置放大器（探頭內）和后置放大器（主電柜內）放大后 ，由模擬量數據采集卡進行 A/D 轉換后 ，最終送到主計算機內進行處理的數據。
5）做校準試驗。試驗測厚儀的校準功能是否正常。這也是發現一些隱藏著的故障的有效手段。
6）做精度測試。用已知準確厚度的樣片實際測量 ，與以前的測量記錄作比較 ，看看測量誤差是否有明顯變化。樣片的厚度范圍最好能覆蓋測厚儀的整個量程范圍或是平時軋制用到的范圍。在成品厚度附近的規格最好密集一些。注意應該細心保管好一套標準樣片 ，每次測試都應這同一套樣片。不同的樣片測試出的厚度誤差變化很難說明問題的。