X-射線光電子能譜儀，是一種表面分析技術，主要用來表征材料表面元素及其化學狀態。其基本原理是使用X-射線，如Al Ka =1486.6eV，與樣品表面相互作用，利用光電效應，激發樣品表面發射光電子，利用能量分析器，測量光電子動能(K.E)，根據B.E=hv-K.E-W.F，進而得到激發電子的結合能（B.E）。
電子能譜技術廣泛用于固體表面元素分析、化學環境分析及形貌測量等,在表面物理研究中發揮著重要的作用。近年來,對單個納米粒子的等離激元激發和單個生物大分子的激發能譜等研究均需要具有一定空間分辨能力的表面電......
