我國成功開發出高精度石英諧振MEMS加速度計

日前，中國微米納米技術學會組織召開“高精度石英諧振MEMS加速度計”項目（以下簡稱項目）科技成果評價會。該項目由中國工程院院士蔣莊德、西安交通大學教授趙玉龍團隊完成。

專家組一致同意項目通過科技成果評價，并認為該項目為下一代慣性級加速度計的發展與應用奠定了基礎。

此次會議專家組由中國工程院院士鄒汝平，中國航天第九研究院第十六研究所研究員、副所長王建青，西北工業大學教授苑偉政，中國船舶集團有限公司第七〇五研究所研究員、總工程師史小鋒，中航工業西安飛行自動控制研究所研究員、副總工程師楊衛民組成。

據悉，項目突破了一體式、雙對置、差動式石英諧振MEMS加速度計敏感結構等關鍵技術，成功開發出高精度石英諧振MEMS加速度計，為下一代慣性級加速度計的發展與應用奠定了基礎。項目成果已為慣性導航系統、慣性測量單元、微型定位導航授時系統的開發提供了有力支撐，滿足了航空、航天、兵器等領域裝備對高精度、小型化、低成本加速度計的迫切需求，具有顯著的社會和經濟效益。項目團隊成員包括西安交通大學教授劉紅忠、副教授李村、助理研究員李波和白冰等。