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  • 發布時間:2023-10-16 14:56 原文鏈接: 我國成功研制高性能大面積碳化硼薄膜

    原文地址:http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/10/510319.shtm

    記者10月16日從中國散裂中子源獲悉,中國散裂中子源(CSNS)探測器團隊利用自主研制的磁控濺射大面積鍍硼專用裝置,近日成功制備出滿足中子探測器需求的高性能大面積碳化硼薄膜樣品,單片面積達到1500mm×500mm,薄膜厚度1微米,全尺寸范圍內厚度均勻性優于±1.32%,是目前國際上用于中子探測的最大面積的碳化硼薄膜。

    高性能大面積碳化硼薄膜樣品。(受訪單位供圖)

    基于硼轉換的中子探測器因其優異的性能已成為當前國際上研究的熱點,隨著CSNS二期工程即將啟動,擬建的中子譜儀對大面積、高效率、位置靈敏的新型中子探測器需求緊迫。如何制備出高性能中子轉換碳化硼薄膜是其中最核心的技術,目前也只有美國、歐洲等少數幾個發達國家和地區掌握了該項技術。2016年在核探測與核電子學國家重點實驗室的支持下,CSNS探測器團隊與同濟大學朱京濤教授合作,開始研制一臺磁控濺射大面積鍍硼專用裝置,鍍膜厚度范圍為0.01~5微米,同時支持單、雙面鍍膜,支持射頻和直流鍍膜。2021年6月,該裝置通過了驗收并投入使用。

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