打破技術壟斷！中科院曾毅團隊研制國產EBSD樣機，高端儀器添中國芯

　　中國科學院上海硅酸鹽研究所曾毅研究員團隊近日研制出國產高分辨電子背散射衍射儀（EBSD）樣機，這標志著我國在電子顯微鏡相關分析測試儀器領域取得突破，為材料科學研究和工業應用提供技術支撐。

　　作為掃描電子顯微鏡的關鍵附件，EBSD能在微米尺度內高精度實現微區晶體學顯微結構分析。目前，全球僅有4家國外公司掌握該設備的制造技術。面對技術壁壘，曾毅帶領團隊攻克了菊池花樣標定方法、sCMOS（科學級互補金屬氧化物半導體）相機、動態真空密封等多項關鍵技術難題，實現了從硬件到軟件的全方位創新。

　　在研發過程中，團隊不僅從設備應用者轉型為儀器研制者，還創新性地提出“局部菊池帶檢測（LKBD）”方法，使平均角度偏差下降了38.5%，顯著提高了條帶識別精度；開發了基于“晶面間距高精度計算（誤差<5%）”的輔助標定新方法，優化了菊池極篩選策略，將平均取向計算精度提升50%以上……這些技術的突破，有效保障了國產EBSD系統的準確性和可靠性。

　　據團隊介紹，國產電子背散射衍射儀樣機的研制成功，實現了花樣標定、相鑒定、面分布采集等進口設備的基本功能，有望提升我國在高端材料表征儀器領域的競爭力。

　　【原標題：國產高分辨電子背散射衍射儀樣機研制成功】