在掃描電鏡中，電子束與薄樣品相互作用時，會有一部分電子透過樣品，這一部分透射電子也可用來成像，其形成的像就是掃描透射像（STEM像）。如圖1所示，掃描電鏡的STEM圖像跟透射電鏡類似，也分為明場像（bright field，BF）和暗場像（dark field，DF），明場像的探測器安裝在掃描電鏡樣品的正下方，當入射電子束穿過樣品后，散射角度較小的電子經過光闌孔選擇后進入明場探測器形成透射明場像，散射角比較大的電子經DF-STEM電極板反射，由二次電子探頭接受形成暗場像。由于掃描電鏡中暗場像的信號較弱，在此我們主要討論明場像。
